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单晶硅炉用石墨热场

来源: 时间:2018-08-18 15:34:15

单晶硅炉用石墨热场,是一个集物理、化学、几何综合理论为一体,专门研究人员经过多年反复考证,多年经验总结制定。

单晶硅炉用石墨热场,是一个集物理、化学、几何综合理论为一体,专门研究人员经过多年反复考证,多年经验总结制定。

热场采用细结构中粗石墨做炉底护盘。保温罩、上下盖采用进口等静压石墨做加热器、坩锅、导流简、托杆、锅托等,保证了石墨坩埚的强度及纯度。

热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。本公司与中国最早生产单晶硅企业河北晶龙集团合作十几年。与晶龙集团合作结合国内外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨热场,并与晶龙集团成立了自己的石墨热场生产基地。在晶龙集团等各大单晶硅生产基地长期应用,对所用石墨材料及整个热场寿命加以肯定,为以后生产特制定如下标准。

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